Sensore di pressione piezoresistivo
Un estensimetro a resistenza è uno dei componenti principali di un sensore di deformazione piezoresistivo. Il principio di funzionamento di un estensimetro a resistenza metallica si basa sul fenomeno per cui la resistenza dell'estensimetro adsorbito sul substrato cambia con la deformazione meccanica, comunemente noto come effetto di deformazione della resistenza.
Sensore di pressione in ceramica
Un sensore di pressione ceramico si basa sull'effetto piezoresistivo. La pressione agisce direttamente sulla superficie anteriore della membrana ceramica, provocandone una leggera deformazione. Un resistore a film spesso- è stampato sul retro del diaframma ceramico, formando un ponte di Wheatstone. A causa dell'effetto piezoresistivo del resistore piezoresistivo, il ponte genera un segnale di tensione altamente lineare proporzionale alla pressione e anche proporzionale alla tensione di eccitazione. I segnali standard sono calibrati su 2,0/3,0/3,3 mV/V, ecc., a seconda dell'intervallo di pressione, e sono compatibili con i sensori estensimetrici.
Sensore di pressione diffuso al silicio
Anche il principio di funzionamento di un sensore di pressione al silicio diffuso si basa sull'effetto piezoresistivo. Utilizzando questo principio, la pressione del mezzo misurato agisce direttamente sul diaframma del sensore (acciaio inossidabile o ceramica), provocando un micro-spostamento del diaframma proporzionale alla pressione del mezzo. Ciò si traduce in una variazione della resistenza del sensore. I circuiti elettronici rilevano questo cambiamento ed emettono un segnale di misurazione standard corrispondente a quella pressione.
Sensore di pressione in zaffiro
Utilizzando il principio dell'estensimetro, questo sensore utilizza silicio-zaffiro come elemento di rilevamento a semiconduttore, possedendo caratteristiche metrologiche ineguagliabili. Pertanto, gli elementi di rilevamento a semiconduttore realizzati in silicio-zaffiro sono insensibili alle variazioni di temperatura e mostrano eccellenti caratteristiche operative anche a temperature elevate; lo zaffiro ha una forte resistenza alle radiazioni; inoltre, gli elementi di rilevamento semiconduttori in silicio-zaffiro non hanno deriva p-n.
Sensore di pressione piezoelettrico
L'effetto piezoelettrico è il principio di funzionamento principale dei sensori piezoelettrici. I sensori piezoelettrici non possono essere utilizzati per misurazioni statiche perché la carica dopo l'applicazione di una forza esterna viene preservata solo quando il circuito ha un'impedenza di ingresso infinita. Poiché nella realtà ciò non avviene, i sensori piezoelettrici possono solo misurare la sollecitazione dinamica.